什么設備可以控制凈化工程鋁材的溫濕度
控制產品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造。此空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。亂流式
空氣由空調箱經風管與凈化工程鋁材內之空氣過濾器(HEPA) 進入凈化工程鋁材,并由凈化工程鋁材兩側隔間墻板或高架地板
亂流式回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于凈化工程鋁材等級1,000-100,000級。
對于亂流凈化工程鋁材 由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內污染的程度,所以主要用換氣次數這一概念,而不直接用速度的概念,不過對室內氣流速度也有如下要求; (1)送風口出口氣流速度不宜太大,和單純空調房間相比,要求速度衰減更快,擴散角度更大。
優點:構造簡單、系統建造成本低,凈化工程鋁材的擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高凈化工程鋁材等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。